;
-Satu/Dua Pintu
Bingkai dan ruang diperbuat daripada keluli tahan karat karbon.
Setiap pintu menyediakan tingkap pemeriksaan untuk kawalan visual proses.Dinding pintu menyediakan pelapik keluli tahan karat yang mudah ditanggalkan untuk penyelenggaraan.
-Ruang Vakum Tersuai
Ruang ini menyediakan pelapik keluli tahan karat dalaman dengan mudah dikeluarkan untuk pembersihan.
Pam berdiri di bahagian belakangnya.
Ruang ini mempunyai satu siri bebibir kecil untuk tujuan mengukur.
-Sistem pengepaman vakum yang tinggi
Pam resapan+pam penggalak+pam mekanikal
-Pengukuran dan kawalan vakum
Dengan tolok Pirani logam + tolok Pengionan logam
-Sistem bergerak lekapan
-Unit Kawalan PLC
-Sistem penyejatan aluminium dengan pengubah kuasa tinggi
-Bingkai besi
Strukturnya munasabah
Lapisan filem adalah seragam
Kualiti pembentukan filem
Kelajuan mengepam yang tinggi, kitaran kerja yang pendek dan kecekapan pengeluaran yang tinggi
Operasi adalah mudah
Penggunaan tenaga yang rendah dan prestasi yang stabil
Nombor model | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Model dua pintu atau Dua ruang tersedia | |
Dimensi kebuk vakum (diameter * tinggi) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Bahan kebuk vakum | Keluli karbon, SUS304 atau SUS316L | ||||||
Teknologi bekerja | penyejatan rintangan vakum dengan filamen tungsten& aluminium, pengubah penyejatan kuasa tinggi | ||||||
Sistem pengepaman | Pam resapan+pam mekanikal, pam penggalak | ||||||
Masa Mengepam | Dari atmosfera kepada 5.0*10-2Pa kurang daripada 8 minit | ||||||
Had Vakum | 5.0*10-4 Pa | ||||||
Suhu bekerja | Suhu bilik | ||||||
Mod kerja | Mod automatik atau Manual, dengan skrin sentuh PLC 10.4 inci | ||||||
Jumlah Kuasa | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Jejak kaki | 2*2 meter | 2*3 meter | 3*3 meter | 3*3 meter | 3*4 meter | 4*5 meter | 5*6 meter |
Unit-unit ini boleh dibuat khas | 1. Saiz kebuk vakum 2. Konfigurasi pam | ||||||
Instrumen pilihan | 1. Pengesan kebocoran 3. Sistem pemendapan ion arka 4. Sistem sputtering Magntron |