Sistem Sputtering Magnetron Sebaris
Mesin salutan sputtering magnetron sebaris adalah terutamanya salutan sputtering magnetron DC (atau MF) boleh disesuaikan dengan pelbagai sasaran, seperti: tembaga, titanium, kromium, keluli tahan karat, nikel dan bahan logam lain yang boleh disalut menggunakan proses sputtering boleh meningkatkan lekatan filem, kebolehulangan, ketumpatan, keseragaman dan ciri-ciri lain.
- a.Ciri dan parameter asas
- b.struktur garisan mendatar boleh direalisasikan serentak disalut pada satu sisi
- c.kecekapan pengeluaran, kelajuan terpantas sehingga 1 min / degupan
- d.reka bentuk modular, penyelenggaraan mudah
- e.kematangan proses penyaduran, hasil yang tinggi
- f.Katod sputtering magnetron DC mungkin berbeza bergantung pada keperluan pelanggan
- g.sistem vakum terdiri daripada pam mekanikal, Pam akar, pam resapan (pam molekul) Komposisi
- h.Saiz badan garisan mungkin berbeza-beza bergantung pada keperluan pelanggan
- 1) Bahan badan ruang vakum menggunakan SUS304, menggilap rawatan dinding ruang vakum, semburan dinding luar menggilap pemprosesan manik.
- 2) Menggunakan injap pintu bebas di antara ruang vakum - injap flapper berasingan, boleh memotong dengan berkesan, menstabilkan gas proses.Pada masa ini syarikat kami menggunakan reka bentuk injap flapper, ia mengelak lebih baik, lebih tahan lama daripada injap flap biasa domestik semasa.
- 3) Penghantaran menggunakan panduan magnetik, melindungi kestabilan pemacu.Untuk setiap kelajuan keseluruhan barisan pengeluaran menggunakan pemacu motor VVVF, kelajuan larian boleh dilaraskan.
- 4) Sistem Kawalan Elektrik: Skrin Sentuh dan kawalan automatik PLC, dialog manusia-mesin untuk mencapai sistem paparan data, parameter operasi dan teknologi kawalan
- 1) Tekanan vakum muktamad: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) kitaran pengeluaran purata: mengikut produk yang ditentukan
- 3) Saiz pemegang substrat: boleh disesuaikan mengikut keperluan
- 4) Keseragaman filem: ± 3% teknologi medan mudah alih termaju telah mempertingkatkan penggunaan sasaran
- Reka bentuk pemanas bersegmen adalah kondusif untuk pengoptimuman proses.
Tulis mesej anda di sini dan hantar kepada kami
