Teknik sputtering magnetron vakum adalah penggunaan permukaan elektrod bipolar wanita dengan medan magnet elektron dalam drift permukaan katod, dengan menetapkan medan elektrik permukaan sasaran berserenjang dengan medan magnet, elektron meningkatkan strok, meningkatkan kadar pengionan gas, manakala zarah tenaga tinggi gas dan kehilangan tenaga selepas perlanggaran dan suhu substrat jadi lebih rendah, salutan lengkap pada bahan bukan tahan suhu.